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    立式氫氣爐技術參數表格
    • 用途及特點
    • 規格參數
       產品應用
       
      本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
           型號    
            Mode    
             技術參數  
        Technical Data   
      L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無油) L1122Ⅱ-1
      ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
      額定工作溫度
      Rated Working Temperature
      1200℃ 1100℃ 2100℃
      加熱方式
      Heating Mode
      鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
      Tantalum sheet
      爐溫均勻性
      Furnace Temperature Uniformity
      ±5℃ ±5℃ ±5℃
      爐膛尺寸
      Furnace Chamber Dimension
      Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
      控溫精度
      Temperature Control Precision
      ±1℃ ±1℃ ±1℃
      空載室溫到工作溫度時間
      From Room Temperature to working temperature
      < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
      真空系統
      Vacuum System
      擴散泵系統
      Diffusion Pump System
      分子泵系統
      Turbo Pump System
      分子泵系統
      Turbo Pump System
      極限真空(空爐)
      Ultimate Pressure(no-load)
      5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
      工作真空度
      Working Vacuum
      5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
      壓升率
      Pressure Rise Rate
      0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
      冷卻水壓
      Cooling Water Pressure
      0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
      總重量
      Total Weight
      1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
      設備總功率
      Total Power
      30 KW 22 KW 30 KW


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