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    P系列真空排氣臺技術參數表格
    • 用途及特點
    • 規格參數
      產品應用
       
      用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

       
      主要結構與工作方式
       
      ●手工裝料
      ●立式,單工位、多工位
      ●主機與控柜一體或分開設置
           型號    
            Mode    
             技術參數  
        Technical Data   
      P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
      主極限真空度
      Ultimate Vacuum
      ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
      烘箱真空
      Baking Chamber Vacuum
      ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
      烘箱工作空間
      Baking Chamber Dimension
      Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
      真空系統
      Vacuum System
      分子泵系統
      Turbo Pump System
      分子泵系統
      Turbo Pump
       System
      離子泵系統
      Ion Pump System
      冷凝泵系統
      Cryopump System
       
      ******溫度
      Max.Temperature
      650℃ 600℃ 600℃ 600℃
      溫度均勻性(軸向)
      Temperature Uniformity
      ≤±5℃三點測溫
      (3 point measurement)
      ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
      (3 point measurement)
      抽氣速度
      Pumping Speed
      ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
      加熱功率
      Heating Power
      12 KW 18 KW(10可調,8固定)
      (10 adjustable,8 fixed)
      9 KW 10 KW
      總功率
      Total Power
      15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
      加熱方式
      Heating Mode
      外加熱
      Outside Heating
      外加熱
      Outside Heating
      內加熱
      Inside Heating
      內加熱
      Inside Heating


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