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    產品展示
    FF型復合分子泵
    • 用途及特點
    • 規格參數
       
      產品用途:Product Applications
       
      ●FF型復合分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術的電子、冶金、化工、科研等眾多領域。

       
      產品特點:Product Features
       
      ●高壓強段保持較大、穩定的抽速;
      ●前級耐壓能力強;
      ●抗沖擊能力強;
      ●易獲得清潔的高真空或超高真空;
      ●設計獨特的轉子,安全性高;
      ●特殊的冷卻系統,散熱性好;
      ●振動小、噪音低;
      ●結構緊湊,安裝、維護方便。
      FF型復合分子泵
      Model FF Compound Molecular Pump
       
      技術參數Technical specifications:

      型號 Model FF-250/1600 FF-160/620
      ******工作壓力Minimum operational pressure(Pa) <1×10-6 <6×10-7
      抽氣速率(對空氣)Pumping speed for air(L/s) 1700 600
      壓縮比Compression ratio 對氮氣 For N2 >108 >109
      對氫氣 For H2 >5×103 >6×103
      進氣口法蘭Inlet flange LF250(DN250  IS0-K) DN160CF
      排氣口法蘭Outlet flange KF50(DN50  IS0-KF) KF40
      啟動時間Starting time(min) ≤8 ≤5
      額定轉速Rated rotational speed (r/min) 27000 27000
      振動值Libration value(μm) ≤0.1 ≤0.1
      注油量Oiling capacity (ml) 210 210
      推薦前級泵Recommended forevacuum pump 2XZ-15D(15L/s) 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
      軸承Bearing 精密陶瓷球軸承
      Precision ceramic balls bearing
      精密陶瓷球軸承
      Precision ceramic balls bearing
      安裝方式Operational orientation 豎直Vertical(±5°) 豎直Vertical(±5°)
      冷卻方式Cooling method 水冷 Water cooling 水冷 Water cooling
      冷卻水溫度Cooling water temperature(℃) ≤25 ≤25
      冷卻水壓力Cooling water pressure(MPa) 0.196 0.196
      泵體烘烤溫度Pump body baking temperature(℃) ≤100 ≤100
      環境溫度Environment temperature(℃) 5~40 5~40
      重量Weight(Kg) 47 30
       

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